揭密台積電「超純水」製程！廢水重複利用3.5次 還要分36種類別回收

日本媒體本月獲准進入台積電位於熊本縣的第一工廠地下室採訪，一窺面積約2萬5000平方公尺的水處理系統區域，廠方也介紹產出洗淨矽晶圓所需的「超純水」，必經的3道製程。

工廠監測8座抽水井 防止過度抽取地下水

「熊本朝日放送」（KAB）12日報導，位於熊本縣菊陽町的第一工廠，地上4層樓主要是無塵室，地下室則設置水處理設施。

營運熊本廠的台積電日本子公司JASM（日本先進半導體製造）水處理課員工山本淳二，本月稍早帶領熊本朝日放送的採訪團隊前往地下2樓，面積約2萬5000平方公尺、相當約4座足球場大的水處理系統區域。

生產半導體的過程中，洗淨晶圓等製程需要消耗大量的水。而第一工廠的系統，不斷監測著8座抽水井的水位，若水位降到特定數值以下，幫浦會自動停止運作，防止過度抽取地下水。

產製半導體不容奈米級塵埃 3道製程產洗淨用水

製造半導體過程中，不容許奈米級的塵埃附著。山本說明，「晶圓的電路寬度，以奈米為單位計算，水中參雜不純物或離子的話，（這些東西）會卡在電路之間，導致產品異常，因此必須使用未參雜任何雜質的『超純水』洗淨，才不會影響產品」。

熊本廠透過3道工序產出「超純水」，前段處理先使用過濾裝置等設備去除雜質，接下來的中段處理則要去除含碳物質，最終則經過精煉處理。

經過處理的水，純度之高，只允許相當於「在（長度）50公尺的游泳池，加入一小匙掏耳勺分量的不純物」。

熊本朝日放送的報導寫道，有人可能會有疑問，製造這種高純度的水，是否必須使用熊本的地下水呢？

山本表示，「原水為地下水或水庫的水並不重要」，因為這對於製造晶片而言都是不純物，換言之，熊本縣政府提案使用當地「龍門水庫」未利用的水，當作半導體工廠的工業用水，技術上是可行的。

日媒驚訝 廢水被細分36種類別回收處理

產出的「超純水」會被送到無塵室，拿去清洗晶圓過後，就會變成含有化學物質等雜質的廢水。報導指出，其中最驚人的是工廠根據其種類與濃度，細分為36種不同的類別回收處理。

山本充滿自信地說：「這些廢水透過適當的回收處理，可被轉化為乾淨的水」。據悉，經過處理的水平均可重複使用3.5次。

要洗淨1平方公分的晶圓，全球半導體企業必須使用平均約12公升的水，而台積電只要5公升。台積電也把這項技術導入熊本廠，希望有助於節省用水量。